[18p-A6-1~16] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[18p-A6-6] Ge/Si コアシェルナノワイヤ中のシェルの結晶性とドーピング評価

^○余銘珂^1,2，神永惇^1,2，ウィパコーン ジェバスワン²，深田直樹² (筑波大工¹，物材機構²)

キーワード：半導体