2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[18p-A8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

2014年9月18日(木) 13:15 〜 19:00 A8 (E207)

16:15 〜 16:30

[18p-A8-11] ダイヤモンドライクカーボン薄膜へのナノ制御ドーピング

鷹林将1,林広幸2,楊猛2,小川修一2,尾辻泰一1,高桑雄二2 (東北大通研1,東北大多元研2)

キーワード:ダイヤモンドライクカーボン, DLC,ドーピング