[18p-A8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-A8-11] ダイヤモンドライクカーボン薄膜へのナノ制御ドーピング

^○鷹林将¹，林広幸²，楊猛²，小川修一²，尾辻泰一¹，高桑雄二² (東北大通研¹，東北大多元研²)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン, DLC,ドーピング