[18p-A8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-A8-17] 電圧印加状態における水素化アモルファス炭素膜の腐食解析

^○中谷恭之，サラユット トゥンミー，周小龍，小松啓志，戸田育民，大塩茂夫，齋藤秀俊 (長岡技科大院)

キーワード：電圧印加,水素化アモルファス炭素膜,腐食