[18p-A8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18p-A8-19] ナノパルスプラズマCVDによる円管内面へのDLCコーティング

^○（M2）高村瞭太，井上雅貴，赤坂大樹，大竹尚登 (東工大機物)

キーワード：DLC,円管内面,ナノパルスプラズマ