[18p-A8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18p-A8-4] アモルファス窒化炭素薄膜の電気抵抗率に及ぼす雰囲気ガスの影響

^○田村尚之，青野祐美，宮﨑尚，北沢信章，渡邉芳久 (防大材料)

キーワード：アモルファス,窒化炭素,電気特性