[18p-A8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-A8-6] C₆H₆/N₂混合気体のマイクロ波放電フローにおけるラジカル計測

^○小嶋翔，伊藤治彦 (長岡技大工)

キーワード：LIF