[18p-A8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18p-A8-9] Si含有DLC膜への軟X線照射効果

^○今井亮¹，鈴木常生²，神田一浩¹ (兵庫県立大高度研¹，長岡技科大²)

キーワード：DLC,軟X線