[18p-B3-1~14] 機能性原子薄膜化合物材料の新展開

[18p-B3-10] 大面積原子層薄膜を用いた新機能素子（30分）

^○竹延大志^1,2 (早大先進¹，早大材研²)

キーワード：原子層