2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

分科企画シンポジウム » 機能性原子薄膜化合物材料の新展開

[18p-B3-1~14] 機能性原子薄膜化合物材料の新展開

2014年9月18日(木) 13:15 〜 18:30 B3 (ホール)

15:00 〜 15:30

[18p-B3-6] 層状金属カルコゲナイドのCVD:成長機構と自発的ナノ構造形成(30分)

柳瀬隆1,渡辺翔1,橋本遊2,沓澤大2,長浜太郎1,島田敏宏1 (北大工1,北大総化2)

キーワード:化学気相蒸着法,MoS2