[18p-C1-1~10] 3.12 ナノ領域光科学・近接場光学

[18p-C1-9] ドレスト光子エッチングにおける偏光および形状依存性に関する検討

^○坪井俊樹¹，八井崇^1,2，坂野斎³，信定克幸⁴，Fabrice Stehlin⁵，Olivier Soppera⁵，川添忠¹，Daniel Bloch⁶，東條賢⁷，大津元一¹ (東大院工¹，JST ALCA²，山梨大工³，分子研⁴，IS2M/ CNRS UMR⁵，LPL CNRS-Paris 13 Univ⁶，中央大理工⁷)

キーワード：Dressed Photon,表面平滑化,エッチング