2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-PB10-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB10 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30～15:30(PB10会場)

13:30 〜 15:30

[18p-PB10-10] 選択的イオン注入法によるサブミクロン領域でのSiGe歪み制御

○船橋直貴1，中川清和2，澤野憲太郎1 (東京都市大1，山梨大2)

キーワード：SiGe