[18p-PB10-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-PB10-3] Si直上Ge薄膜形成におけるスパッタ電力の効果と表面平坦化の試み

^○塚本貴広¹，広瀬信光²，笠松章史²，三村高志²，松井敏明²，須田良幸¹ (東京農工大院工¹，情報通信研究機構²)

キーワード：スパッタエピタキシー,ゲルマニウム