2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[18p-PB5-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB5 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30~15:30(PB5会場)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-10] 各種アルミニウム合金添加物におけるプラズマ窒化処理の影響

坂本風刀,武村祐一朗 (近大院)

キーワード:電子ビーム励起プラズマ,プラズマ窒化,アルミニウム