[18p-S1-1~9] コンピュータによるプラズマシミュレーションの実際（いま，何をどこまで計算できるのか）

[18p-S1-8] プラズマエッチングのモデリングと半導体加工制御への応用（30分）

^○久保井信行，深沢正永，辰巳哲也 (ソニー)

キーワード：エッチング,モデリング,制御