[18p-S8-1~13] 3.8 光計測技術・機器

[18p-S8-12] 空間的多波長走査干渉計による薄膜形状計測

^○佐藤瞭子¹，崔森悦²，鈴木孝昌¹ (新潟大院¹，新潟大²)

キーワード：干渉計測,表面形状計測