[18p-S9-1~14] 3.7 レーザープロセシング

[18p-S9-5] 銅微粒子のレーザーシンタリングによる導電膜形成と微細パターニング

^○渡辺明¹，Gang Qin¹，米澤徹²，塚本宏樹² (東北大多元研¹，北大工²)

キーワード：銅微粒子,レーザーシンタリング,銅微細配線