[19a-A10-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19a-A10-1] 不飽和加圧水蒸気によるITOの低温熱処理

^○平原颯太¹，北村弘嗣¹，植竹勇介¹，長沢敏勝²，五十嵐敬²，大川和宏¹ (東京理大理¹，平山製作所²)

キーワード：酸化インジウムスズ