[19a-A10-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19a-A10-2] CVD-TiO₂薄膜の電導モデル

^○山内智，石橋和洋，冨田啓輔，今井洋 (茨城大工)

キーワード：酸化チタン,電導モデル,化学気相堆積法