[19a-A10-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19a-A10-3] ナノミスト堆積法(多電極型静電塗布法)によるMgZnO薄膜の基礎的検討

^○石野隼一¹，新沼佳樹¹，菊池昭彦^1,2 (上智大理工¹，上智大ナノテクセンター²)

キーワード：MgZnO,ESD,静電塗布