[19a-A10-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19a-A10-4] ナノミスト堆積法（多電極型静電塗布法）によるZnO薄膜の成膜と評価

^○新沼佳樹¹，石野隼一¹，菊池昭彦^1,2 (上智大理工¹，上智大ナノテクセンター²)

キーワード：静電塗布,ZnO,酢酸亜鉛二水和物