[19a-A12-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19a-A12-2] Ga添加ZnO薄膜における表面化学状態に対する熱処理効果

^○牧野久雄^1,2，宋華平¹，岸本誠一³，野本淳一¹，山本哲也¹ (高知工科大総研¹，高知工科大システム工²，高知高専機械³)

キーワード：ZnO,酸化亜鉛,表面