[19a-A12-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19a-A12-4] 表面テクスチャAZO透明導電膜の光吸収と電気的・結晶学的特性との関係

^○宮田俊弘，山中俊憲，宇於崎涼介，南内嗣 (金沢工大OEDS R&Dセンター)

キーワード：透明導電膜,ZnO,スパッタリング