[19a-A12-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [19a-A12-7] スプレーCVD法によるTaドープSnO₂透明導電膜の作製と評価

^○白井寛之，服部祐樹，二宮善彦，佐藤厚，山田直臣 (中部大院)

キーワード：SnO2,酸化スズ,spray