[19a-A14-1~10] 7.2 電子顕微鏡，評価，測定，分析

[19a-A14-4] 絶縁体薄膜表面電位分布の電子ビーム露光時間依存性

^○（M2）熊谷健太朗，細井創介，半田勇希，小寺正敏 (大阪工大)

キーワード：電子ビーム