2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-A15-1~9] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

2014年9月19日(金) 09:30 〜 12:00 A15 (E306)

09:30 〜 09:45

[19a-A15-1] バッチ式湿式洗浄機の水噴出ノズル設計

小野伸賢1,羽深等1,後藤昭広2 (横国大院工1,プレテック2)

キーワード:洗浄