[19a-A15-1~9] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-A15-3] 犠牲酸化によるSi表面平坦化の基板面方位依存性

^○工藤聡也，Nithi Atthi，大見俊一郎 (東工大)

キーワード：表面平坦化プロセス,シリコン,デバイス特性