[19a-A15-1~9] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-A15-8] ZrN, HfN/Geコンタクトの電気特性と界面微細構造解析

^○野口竜太郎¹，光原昌寿²，山本圭介³，西田稔²，中島寛³，原徹⁴ (九大・総理工（院生）¹，九大・総理工²，九大・産学連携センター³，物材機構⁴)

キーワード：Germanium,STEM