PDF ダウンロード スケジュール 8 いいね! 0 10:45 〜 11:00 [19a-A16-6] サブ原子層カーボンを用いたSi基板上Ge薄膜の平坦性向上に関する検討 ○畠山真慈1,伊藤友樹1,川島知之1,2,鷲尾勝由1,2 (東北大院工1,東北大工2) キーワード:Ge