2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[19a-A16-1~10] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年9月19日(金) 09:30 〜 12:00 A16 (E307)

11:15 〜 11:30

[19a-A16-8] Geバッファ層とサブ原子層カーボン導入によるGe/Siミキシングの抑制

○(M2)伊藤友樹,早瀬凌,畠山真慈,川島知之,鷲尾勝由 (東北大院工)

キーワード:ゲルマニウム,カーボン,シリコン