2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[19a-A16-1~10] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年9月19日(金) 09:30 〜 12:00 A16 (E307)

11:30 〜 11:45

[19a-A16-9] MBEを用いたSi(100)基板上の2段階Ge薄膜成長

早瀬凌,伊藤友樹,川島知之,鷲尾勝由 (東北大院工)

キーワード:ゲルマニウム,シリコン,薄膜成長