[19a-A18-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[19a-A18-7] アニール処理によるシリコン立体曲り導波路の伝搬損失改善

^○（M2）田島渉吾^1,2，吉田知也²，西孝²，武井亮平²，面田恵美子²，長尾昌善²，三浦登¹，森雅彦²，榊原陽一² (明大院理工¹，産総研²)

キーワード：シリコンフォトニクス,光インターコネクション,イオン注入