[19a-A18-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [19a-A18-8] 特性ばらつき低減に向けたSi細線光導波路コアサイズの検討

^○相馬宗厳¹，北智洋¹，外山宗博^1,2，関三好²，横山信幸²，大塚実²，山田博仁¹ (東北大院工¹，産総研²)

キーワード：シリコンフォトニクス,光導波路,屈折率ばらつき