[19a-A19-1~13] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19a-A19-4] ラマン分光による電子線照射非晶質Ge薄膜の固相成長過程の評価

^○村上英司郎¹，茂藤健太¹，野満建至¹，原英之²，西村浩人²，高倉健一郎¹，角田功¹ (熊本高専¹，ブルカーバイオスピン²)

キーワード：固相結晶成長,電子線,Ge