[19a-A20-1~12] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[19a-A20-1] マイクロ波力学インダクタンス検出器用TaN薄膜の作製

^○山田博信¹，安倍翼¹，齊藤敦¹，大嶋重利¹，有吉誠一郎²，裵鐘石²，中島健介¹ (山形大¹，名工大²)

キーワード：TaN,マイクロ波力学インダクタンス検出器