[19a-A25-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-A25-1] 低純度Si精製に向けたジボラン（B₂H₆）選択除去手法の開発とその特性評価

^○大参宏昌，垣内弘章，安武潔 (阪大院工)

キーワード：プラズマ,精製,シリコン