[19a-A25-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-A25-11] Cat-CVDを用いて作製したa-Si/c-Siヘテロ接合太陽電池の極薄酸化膜形成による特性改善

^○及川貴史¹，大平圭介^1,2，松村英樹^1,2 (北陸先端大¹，JST CREST²)

キーワード：ヘテロ接合太陽電池