[19a-A25-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [19a-A25-2] Self-consistent-charge density-functional tight-binding法を用いたアモルファスSiCのCVD成長機構の検討

^○（D）桑原卓哉，伊藤寿，樋口祐次，尾澤伸樹，久保百司 (東北大院工)

キーワード：SCC-DFTB,SiC,CVD Simulation