[19a-A25-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-A25-6] a-SiO_x:H薄膜の欠陥評価

^○松井研人¹，伊藤貴司¹，片山竜一¹，山川幸輝¹，斉藤潤²，杉山秀一郎²，Porponth Sichanugrist³，野々村修一¹，小長井誠³ (岐阜大工¹，シャープ²，東工大院理工³)

キーワード：欠陥評価