[19a-A27-1~13] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[19a-A27-12] 陽極酸化を用いて作製したシリコンワイヤーの細線化

^○今泉拓哉¹，清水友貴¹，鈴木俊明²，丹羽雅昭¹，本橋光也¹ (電機大工¹，日本電子²)

キーワード：シリコンワイヤー,陽極酸化