[19a-A9-1~10] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

△ [19a-A9-1] 熱処理がYAlO₃単結晶のテラヘルツ吸収に与える影響

^○（M2）井上貴博¹，金子昇司¹，針間正幸¹，森本貴明¹，大木義路^1,2，水野麻弥³，福永香³ (早大¹，材料科学研究所²，情報通信研究機構³)

キーワード：High-k,YAlO3