[19a-C5-1~10] 窒化物半導体特異構造の科学〜物性評価と結晶学の構築へ〜

△ [19a-C5-8] レーザーリフトオフ技術によるGaN 基板を剥離した近紫外LED

^○飯田大輔¹，河合俊介¹，土屋貴義¹，江間伸明¹，岩谷素顕¹，竹内哲也¹，上山智¹，赤﨑勇^1,2 (名城大理工¹，名大・赤﨑記念研究センター²)

キーワード：laser lift-off