[19a-C8-1~11] 3.5レーザー装置・材料，3.14光制御デバイス・光ファイバのコードシェアセッション

[19a-C8-9] CLBO結晶を用いた注入同期ArFエキシマレーザ用狭帯域高出力193nm固体レーザシステムの開発

^○五十嵐裕紀¹，玄洪文²，趙智剛²，伊藤紳二¹，柿崎弘司¹，小林洋平² (ギガフォトン¹，東大物性研²)

キーワード：Frequency conversion,CLBO,ArF eximer laser