[19a-PA1-1~2] 1.3 新技術・複合新領域

[19a-PA1-2] Cl₂-誘導結合型プラズマエッチングにおけるヤヌス型トリプチセンTripC₁₂ のエッチング特性の評価

^○松谷晃宏¹，石割文崇²，庄子良晃²，上原卓也³，中川勝³，福島孝典^2,4 (東工大半導体MEMSプロセス技術センター¹，東工大資源化学研究所²，東北大多元物質科学研究所³，JST-ERATO⁴)

キーワード：プラズマ,エッチング