2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

03.光・フォトニクス » 3.8 光計測技術・機器

[19a-PA6-1~10] 3.8 光計測技術・機器

2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PA6 (第1体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PA6会場)

09:30 〜 11:30

[19a-PA6-2] エリプソメトリーにおける観測窓補正の一般化

金蓮花,春日翔貴,近藤英一 (山梨大)

キーワード:エリプソメトリー