[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PB1-1] CO原料ガスを用いて合成したDLC膜の電気特性評価

^○安岡佑起¹，針谷達¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大¹，高知工科大ナノテク研²)

キーワード：Diamond like Carbon