[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PB1-14] 球型共振器構造MPCVDを用いたホウ素ドープダイヤモンド(100)膜のホモエピタキシャル高速成長

^○金田大輝¹，渡邊俊介¹，徳田規夫^1,2,3，小倉政彦^2,3，加藤宙光^2,3，梅沢仁²，山崎聡^2,3，有屋田修⁴，猪熊孝夫¹ (金沢大院自然¹，産総研²，JST, CREST³，アリオス⁴)

キーワード：ダイヤモンド,ホウ素ドープ,高速成長