[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PB1-2] DLC膜の電子顕微鏡ツールへの利用 -電子透過膜と観察試料の間隔が解像度に及ぼす影響-

^○上月具挙¹，縄稚典生² (広国大工¹，広技研²)

キーワード：DLC,電子顕微鏡