講演情報

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一般セッション(ポスター講演)

06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB1 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30～11:30(PB1会場)

09:30 〜 11:30

[19a-PB1-5] C₆H₁₄/N₂混合気体のマイクロ波放電フローを用いたa-CN_x:H膜の作製

^○平松拳也，伊藤治彦，斎藤秀俊 (長岡技科大工)

キーワード：マイクロ波プラズマCVD