PDF ダウンロード スケジュール 5 いいね! 0 09:30 〜 11:30 [19a-PB2-1] チタンバッファーを用いたシリコン基板上に成長したダイアモンドライクカーボン ○金子智1,8,松永崇2,池永薫3,伊藤健6,安井学7,堀内崇弘1,安原重雄4,三尋木勝洋4,熊谷正夫5,滝川浩史9,下平英二5,小林昌純6,須藤理枝子7,松田晃史8,吉本護8 (神奈川県産技センター1,大阪産総研2,日本電子工業3,日本アドバンスケミカルズ4,不二WPC5,コバヤシ精工6,相模原表面技術研究所7,東工大総合理工8,豊橋科技大9) キーワード:DLC,シリコン,チタン緩衝膜