[19a-PB2-1~11] 6.4 薄膜新材料

[19a-PB2-1] チタンバッファーを用いたシリコン基板上に成長したダイアモンドライクカーボン

^○金子智^1,8，松永崇²，池永薫³，伊藤健⁶，安井学⁷，堀内崇弘¹，安原重雄⁴，三尋木勝洋⁴，熊谷正夫⁵，滝川浩史⁹，下平英二⁵，小林昌純⁶，須藤理枝子⁷，松田晃史⁸，吉本護⁸ (神奈川県産技センター¹，大阪産総研²，日本電子工業³，日本アドバンスケミカルズ⁴，不二WPC⁵，コバヤシ精工⁶，相模原表面技術研究所⁷，東工大総合理工⁸，豊橋科技大⁹)

キーワード：DLC,シリコン,チタン緩衝膜