2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[19a-PB2-1~11] 6.4 薄膜新材料

2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB2 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PB2会場)

09:30 〜 11:30

[19a-PB2-6] MoSi2-Si複合体薄膜の抵抗率の温度依存性

木谷僚介,佐藤祐喜,吉門進三 (同志社大)

キーワード:二珪化モリブデン‐ケイ素複合体薄膜,温度依存性